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隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速開(kāi)展的階段，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐步的進(jìn)步功能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，首要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工，測(cè)驗(yàn)丈量等，可是它到底有哪一些首要的優(yōu)勢(shì)。

高直線度和平面度

高定位精度和重復(fù)定位

運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)

納米級(jí)微動(dòng)步距

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了較優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著超卓的功能精度，實(shí)現(xiàn)較大速度2米/秒，可以擁有4G的加速度，并且承載的能力也非常的超卓，所以在現(xiàn)在的市場(chǎng)上已經(jīng)逐步得到我們的認(rèn)可，只是當(dāng)我們?cè)谔暨x設(shè)備時(shí)，或許也會(huì)存在許多的疑問(wèn)，比如說(shuō)要挑選哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。

其實(shí)材質(zhì)的挑選是跟用戶的使用有著緊密的聯(lián)系，單從性價(jià)比角度了解，碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高，當(dāng)然本錢也昂貴，鋁合金與大理石材質(zhì)的相同功能比較，鋁合金的加工難度大些，本錢較高，大理石的本錢較便宜些。

利用的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，挑選無(wú)鐵芯設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是無(wú)齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)功能及電流噪音小等，所以在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中可以實(shí)現(xiàn)超平穩(wěn)的效果，別的配置光柵尺閉環(huán)反饋的控制系統(tǒng)，取得高定位精度和重復(fù)定位精度，控制器對(duì)光柵尺較大65536倍細(xì)分，取得納米級(jí)微動(dòng)步距。

所以從各個(gè)方向的優(yōu)勢(shì)來(lái)看，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)成為當(dāng)時(shí)從事高精密使用職業(yè)的挑選，可以進(jìn)步整個(gè)系統(tǒng)的精度功能。