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1、精度

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，原料分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了比較氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著超卓的功能精度，實(shí)現(xiàn)比較大速度2米/秒，可以具有4G的加速度，而且承載的能力也十分的超卓，所以在目前的市場(chǎng)上現(xiàn)已逐漸得到我們的認(rèn)可，僅僅當(dāng)我們?cè)谔暨x設(shè)備時(shí)，或許也會(huì)存在許多的疑問(wèn)，比如說(shuō)要挑選哪種原料的氣浮導(dǎo)軌。

2、原料

其實(shí)原料的挑選是跟用戶的使用有著緊密的聯(lián)絡(luò)，單從性價(jià)比角度了解，碳化硅陶瓷原料的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高，當(dāng)然本錢也貴重，鋁合金與大理石原料的相同功能比較，鋁合金的加工難度大些，本錢較高，大理石的本錢較便宜些。

3、直線電機(jī)

利用的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，挑選無(wú)鐵芯規(guī)劃，特點(diǎn)是無(wú)齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)功能及電流噪音小等，所以在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中可以實(shí)現(xiàn)超平穩(wěn)的效果，另外裝備光柵尺閉環(huán)反應(yīng)及優(yōu)良性的控制系統(tǒng)，取得高定位精度和重復(fù)定位精度，控制器對(duì)光柵尺比較大65536倍細(xì)分，取得納米級(jí)微動(dòng)步距。